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日本JIMA RT RC-04B分辨率测试卡
日本JIMA RT RC-04B 是一款采用蕞新半导体光刻技术制造的分辨率测试图。它用于校准和监控系统分辨率，确保您的微焦点或纳焦点 X 射线检测系统获得高质量的检测结果。
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JIMA RT RC-04B型号
日本JIMA品牌
X射线质量多功能检测仪分类
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产品简介
日本JIMA RT RC-04B分辨率测试卡产品简介：
日本JIMA RT RC-04B 是一款采用蕞新半导体光刻技术制造的分辨率测试图。它用于校准和监控系统分辨率，确保您的微焦点或纳焦点 X 射线检测系统获得高质量的检测结果。该测试图包含 23 条 T 形线，每条线包含 7 个间距，间距范围从 0.1µm 到 10µm。此测试图随附一个收纳盒(无需额外付费)，使用时请将其从收纳盒中取出。
线条图案：
线宽/间距：0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.35、0.4、0.5、0.6、0.7、0.8、0.9、10、1.5、2.0、3.0、4.0、5.0、6.0、7.0、8.0、9.0、10.0 µm
芯片横截面：
钨色图表绘制在一块6.25毫米见方的硅芯片上。该芯片固定在一个30 x 40毫米的铝制底座上，并用PET薄膜覆盖以保护芯片。
技术参数
| 住房面积 | 尺寸：30x40毫米x5毫米（厚） |
|---|---|
| 硅基底尺寸 | 15µm±1µm（厚度） |
| 吸收材料 | 钨，厚度≥650纳米 |
| 保护膜 | PET薄膜（厚度：25微米） |
| 行数 | 8行（7个空格），V&H，T形布局 |
| 行/间距大小 | 0.1µm 至 10µm：0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.35、0.4、0.5、0.6、0.7、0.8、0.9、10、1.5、2.0、3.0、4.0、5.0、6.0、7.0、8.0、9.0、10.0 µm 宽度 |
| 线宽/尺寸公差 | 0.1、0.15µm：±0.02µm / 0.02~2µm：±10% / 3~10µm：±8%（扫描电镜） |
| 工作温度范围 | 50°F至158°F（10°C至70°C） |
