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DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S真空等离子清洗机

DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S真空等离子清洗机配有真空腔,射频电源,真空泵,控制系统,流量控制系统。

型号 DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S 国 产 价格面议

DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S真空等离子清洗机
  • 原厂仪器
  • 发票保障
  • 国内包邮
  • 售后无忧
DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S型号
国 产品牌
紫外辐射计分类
询价价格

产品简介

DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S真空等离子清洗机产品简介:

设备简介:

1、真空腔

采用进口材料制作而成,焊接无漏气,*优化 8 层电*设计合理利用空间,专业等离子发生方式,绝缘可靠良好。

2、射频电源

*全可靠的射频电源(13.56MHz),为等离子的产生提供保障。

3、真空泵

快速静音抽真空系统设计,真空度可至 10pa 以内,保证设备使用的各个需求压力。

4、控制系统

PLC+触摸屏自动控制系统设计,方便客户使用和操作。

5、流量控制系统

专业闭环流量控制系统,保证工艺气体的准确,确保等离子的效果的稳定。

装机前准备:

1、压缩空气:≥0.5mpa,ø6mm PU 管

2、工艺气体:AR&O2(纯度:≥99.999%)0.15~0.25mpa,ø6mm PU 管

3、废气排放:ø50mm 接口

4、主电源:≥ 4mm2 电源线(三相五线),5.7KW Main

设备工作流程:

1、真空抽取:将产品放置腔体内,关上腔体门,打开真空泵,将真空腔内气压从常压抽至 30pa(自行设置)以内;

2、添加工艺气体:将准确流量的工艺气体添加至真空腔室内,均匀分布;

3、产生等离子:射频电源提供能量电离真空腔内的工艺气体,形成等离子体;

4、产品处理:根据设置时间处理产品的等离子处理时间;

5、破真空:产品处理完成后,打开破真空电磁阀,将真空腔压力恢复至常压取出产品。


技术参数

名称(Name)Vacuum Plasma system真空等离子清洗机
型号(Model)DSX- VPD-8L-S
技术参数(Technical Parameter)备注(Remarks)
1控制系统 (Control system)
2真空泵 Vacuum Pump
3等离子发生系统 Plasma generator
4真空监控系统Vacuum Guage
5气体流量控制系统Mass Flow Control
6气体控制系统 Gas control system
7抽真空控制系统Vacuum output control
8破真空控制系统Vacuum breaking control
9电*层数 Electrode Layer
10有效处理面积 Effective treatment area
11工艺气体通道 Process gas channel
12腔体规格 Chamber Size
13整机外形尺寸 Layout Size
名称(Name)Vacuum Plasma system
型号(Model)DSX-VPO-8L-S
技术参数(Technical parameters)备注Remarks
1设备电源Power supply
2设备功率Power KW
3工作真空度 Working vacuum point
4抽真空时间 Vacuum output time
5破真空时间 Vacuum breaking time
6射频电源功率 RF Power KW
7机台重量Weight
8质量流量控制系统 MFC Range
9操作方式 Mode of operation

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