DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S真空等离子清洗机配有真空腔,射频电源,真空泵,控制系统,流量控制系统。
DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S真空等离子清洗机产品简介:
设备简介:
1、真空腔
采用进口材料制作而成,焊接无漏气,*优化 8 层电*设计合理利用空间,专业等离子发生方式,绝缘可靠良好。
2、射频电源
*全可靠的射频电源(13.56MHz),为等离子的产生提供保障。
3、真空泵
快速静音抽真空系统设计,真空度可至 10pa 以内,保证设备使用的各个需求压力。
4、控制系统
PLC+触摸屏自动控制系统设计,方便客户使用和操作。
5、流量控制系统
专业闭环流量控制系统,保证工艺气体的准确,确保等离子的效果的稳定。
装机前准备:
1、压缩空气:≥0.5mpa,ø6mm PU 管
2、工艺气体:AR&O2(纯度:≥99.999%)0.15~0.25mpa,ø6mm PU 管
3、废气排放:ø50mm 接口
4、主电源:≥ 4mm2 电源线(三相五线),5.7KW Main
设备工作流程:
1、真空抽取:将产品放置腔体内,关上腔体门,打开真空泵,将真空腔内气压从常压抽至 30pa(自行设置)以内;
2、添加工艺气体:将准确流量的工艺气体添加至真空腔室内,均匀分布;
3、产生等离子:射频电源提供能量电离真空腔内的工艺气体,形成等离子体;
4、产品处理:根据设置时间处理产品的等离子处理时间;
5、破真空:产品处理完成后,打开破真空电磁阀,将真空腔压力恢复至常压取出产品。
| 名称(Name) | Vacuum Plasma system真空等离子清洗机 |
|---|---|
| 型号(Model) | DSX- VPD-8L-S |
| 技术参数(Technical Parameter) | 备注(Remarks) |
| 1 | 控制系统 (Control system) |
| 2 | 真空泵 Vacuum Pump |
| 3 | 等离子发生系统 Plasma generator |
| 4 | 真空监控系统Vacuum Guage |
| 5 | 气体流量控制系统Mass Flow Control |
| 6 | 气体控制系统 Gas control system |
| 7 | 抽真空控制系统Vacuum output control |
| 8 | 破真空控制系统Vacuum breaking control |
| 9 | 电*层数 Electrode Layer |
| 10 | 有效处理面积 Effective treatment area |
| 11 | 工艺气体通道 Process gas channel |
| 12 | 腔体规格 Chamber Size |
| 13 | 整机外形尺寸 Layout Size |
| 名称(Name) | Vacuum Plasma system |
|---|---|
| 型号(Model) | DSX-VPO-8L-S |
| 技术参数(Technical parameters) | 备注Remarks |
| 1 | 设备电源Power supply |
| 2 | 设备功率Power KW |
| 3 | 工作真空度 Working vacuum point |
| 4 | 抽真空时间 Vacuum output time |
| 5 | 破真空时间 Vacuum breaking time |
| 6 | 射频电源功率 RF Power KW |
| 7 | 机台重量Weight |
| 8 | 质量流量控制系统 MFC Range |
| 9 | 操作方式 Mode of operation |